臭氧滅菌或抑菌作用，通常是物理的、化學的及生物學等方面的綜合結果。其作用機制可歸納為：
（1）作用于細胞膜，導致細胞膜的通透性增加，細胞內物質外流，使細胞失去活動；
（2）使細胞活動必需的酶失去活性；
（3）破壞細胞內的遺傳物質或使其失去功能。臭氧殺滅病毒是通過直接破壞核糖核酸或脫氧核酸完成的。而殺滅細菌、霉菌類微生物則是臭氧首先作用與細胞膜，使細胞膜的構成收到損傷，導致新陳代謝障礙并抑制其生長，臭氧繼續滲透破壞膜內組織，直到死亡。
紫外線殺菌技術是利用紫外線照射物質，使物體表面的微生物細胞內核蛋白分子構造發生變化而引起死亡。由于紫外線穿透性差,一般情況下紫外照射主要用作食品工廠車間、設備、包裝材料的表面以及水殺菌。另外紫外線照射也可以結合其它一些強氧化劑如臭氧、過氧化氫等處理來進行殺菌。近年來紫外線用于透明液體的殺菌獲得發展，紫外線照射在果蔬汁中的應用也引起了重視。
現代紫外消毒技術是基于現代防疫學、光學、數學、生物學及物理化學的基礎上，利用特殊設計的率、高強度和長壽命的C波段紫外光發生裝置產生的強紫外C光照射流水、空氣或固體表面，當水、空氣或固體表面中的各種細菌、病毒、寄生蟲、水藻以及其他病原體受到一定劑量的紫外C光輻射后，其細胞中的DNA結構受到破壞（鍵斷裂，或光化學反應，如使DNA中THYMINE二聚等），從而在不使用任何化學藥物的情況下殺滅細菌、病毒以及其它致病體。達到了消毒和凈化的目的。
紫外線殺菌原理
當微生物被紫外線照射時，其細胞的部分氨基酸和核酸吸收紫外線，產生光化學作用，引起細胞內成分，特別是核酸、原漿蛋白、酯的化學變化，使細胞質變性，同時空氣受紫外線照射后產生微量臭氧，共同殺菌作用，從而導致微生物的死亡。
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